Scanelektroskopische PlasmareinigerEin Scan-Elektronenmikroskop (SEM) eine effiziente Reinigungsanlage für die Probenvorbereitung. Die Maschine nutzt Plasmatechnik, um organische Schadstoffe und Mikrostaub von der Probenoberfläche durch die Anregung von Aktivgasen zu entfernen und eine saubere und qualitativ hochwertige Bildgebung der Probe bei der Mikrobeobachtung zu gewährleisten.

Scanelektroskopische PlasmareinigerDas Arbeitsprinzip basiert hauptsächlich auf chemischen Reaktionen und physikalischen Wirkungen des Plasmas. Das Arbeitsgas wird durch ein hochfrequentes elektromagnetisches Feld angeregt, um Gasmoleküle zu ionisieren und ein hochenergetisches Plasma zu erzeugen. Diese Plasma bekommen unter der Wirkung eines elektrischen Feldes ausreichend Energie, um mit den umliegenden Gasmolekülen zu kollidieren und weitere hochenergetische aktive Partikel zu erzeugen. Diese energieintensiven Partikel kollidieren mit der Oberfläche des zu bearbeitenden Materials, treffen die an der Oberfläche haftenden Schadstoffe auf und trennen sie von der Oberfläche, um den Zweck der Oberflächenreinigung zu erreichen. Gleichzeitig können aktive Partikel im Plasma mit der Oberfläche des Materials chemisch reagieren, um flüchtige Substanzen zu erzeugen, die Schadstoffe in leicht entfernbare Formen umwandeln und die Oberfläche weiter reinigen.