RIEReaktions-IonengraviererEs wird molekulares Gasplasma im Vakuumsystem verwendet, um zu gravieren, die chemische Reaktion, die durch Ionen induziert wird, um eine heterosexuelle Gravur zu erreichen, d. h. die Verwendung von Ionenergie, um die Oberfläche der gravierten Schicht zu einer leicht gravierten Schädigungsschicht zu bilden und die chemische Reaktion zu fördern, während Ionen auch die Oberflächenprodukte entfernen können, um eine saubere Gravurfläche zu zeigen.

　　RIEReaktions-IonengraviererWartungsmethoden:

Reinigen Sie regelmäßig die Außen- und Innenfläche. Reinigen Sie Vakuumkammern, Elektroden, Ionenquellen und andere wichtige Komponenten mit geeigneten Reinigungsmitteln und Weichttuchen.

Überprüfen Sie regelmäßig verschiedene Parameter und Sensoren der Geräte, um ihre Genauigkeit und Genauigkeit zu gewährleisten. Die Kalibrierung umfasst die Prüfung und Einstellung von Parametern wie Ionenstrahlenergie, Ionenstrahlhomogenität, Gasfluss und HF-Leistung.

3. Bei der Verwendung sollten Sie auf die Schlüsselkomponenten des Schutzgerätes wie Ionenquellen, Elektroden und Vakuumkammern achten. Vermeiden Sie zu viel Leistung und zu viel Ionenstrahlenergie, um Komponentenschäden oder vorzeitigen Verschleiß zu verhindern. Achten Sie darauf, geeignete Gase und Chemikalien zu verwenden, um Korrosion oder Beschädigung der Ausrüstung zu vermeiden.

Bei der Bedienung der Ausrüstung müssen die einschlägigen Sicherheitsverfahren und Bedienungsanleitungen eingehalten werden. Verwenden Sie persönliche Schutzausrüstung wie Sicherheitsbrillen, Handschuhe und Schutzkleidung. Stellen Sie sicher, dass der Arbeitsbereich um das Gerät herum sauber und ohne Hindernisse ist, und vermeiden Sie beschädigte oder nicht qualifizierte Zubehör und Zubehör.

5. Durchführung regelmäßiger Inspektionen der Ausrüstung, einschließlich der Überprüfung des Betriebszustands von Vakuumsystemen, Gasversorgungssystemen, HF-Stromversorgungen und Steuersystemen. Überprüfen und ersetzen Sie verschleißte oder alternde Teile, um sicherzustellen, dass das Gerät ordnungsgemäß funktioniert.