Die Rotationsbeschichtungsmaschine, auch bekannt als Gleichgewichtsmaschine, Gleichgewichtsmaschine usw., ist ein Gerät für die gleichmäßige Beschichtung von Flüssigkeitsfilmen auf der Grundfläche. Es ist eine Labor- und Produktionsanlage, die weit verbreitet in den Bereichen Materialwissenschaft, Halbleiterherstellung, Mikroelektronik, Optik und Biomedizin verwendet wird, deren Kernfunktion es ist, Flüssigkeitsfilm (wie Photogravur, Polymerlösung, Biomaterialien usw.) auf der Oberfläche von Substraten (wie Silizium, Glas, Polymer usw.) gleichmäßig zu beschichten.
Fügen Sie Flüssigkeitsmaterialtropfen in das Zentrum der stationären oder niedrigen Drehzahl drehenden Substrate hinzu, die sich unter Motorantrieb mit hoher Geschwindigkeit drehen, die Zentrifugkraft lässt das flüssige Material von der Mitte nach außen ausbreiten und mit einer stabilen Drehzahl bildet das flüssige Material eine gleichmäßige Folie auf der Substratoberfläche. Bei Lösungsmittelhaltigen Flüssigkeiten flüchtigt das Lösungsmittel während der Rotation und bildet eine feste oder halbfeste Folie.
Die Zentrifugalkraft, die durch eine hohe Drehgeschwindigkeit des Rotationsgerätes erzeugt wird, ermöglicht eine gleichmäßige Ausbreitung des flüssigen Materials und bildet eine dickenkontrollierte Folie. Der konkrete Prozess ist wie folgt:
Tropfen: Tropfen Sie flüssiges Material (z. B. Photogravur) in die Mitte der stationären oder niedrigen Drehzahl drehenden Substrate.
Beschleunigte Drehung: Die Substrate dreht sich mit hoher Geschwindigkeit unter Motorantrieb und die Zentrifugkraft führt dazu, dass sich das flüssige Material von der Mitte nach außen ausbreitet.
Filmbildung: Bei stabiler Drehgeschwindigkeit bildet das flüssige Material eine gleichmäßige Folie auf der Substratoberfläche.
Lösemittelflüchtigkeit (optional): Bei Flüssigkeiten mit Lösemitteln flüchtigt das Lösemittel während der Rotation und bildet eine feste oder halbfeste Folie.
Hauptmerkmale
Hohe Gleichmäßigkeit: Die Gleichmäßigkeit der Dicke im Nanometer-Maßstab (± 2%) kann erreicht werden und eignet sich für Prozesse, die hohe Anforderungen an die Gleichmäßigkeit der Dünnfilm erfordern, wie z. B. die Photogravierbeschichtung, die Herstellung von reflexionsbeständigen Beschichtungen usw.
Dicke steuerbar: Durch Anpassung von Parametern wie Drehgeschwindigkeit, Beschichtungszeit und Materialviskosität kann die Dicke der Beschichtung genau gesteuert werden.
Breite Anwendungsbereich: Eine breite Palette von Materialien, einschließlich Polymerlösungen, Photogravuren, Tinten, Beschichtungen usw., können auch für Siliziumfliechen, Glas, Metalle und andere verschiedene Materialien verwendet werden.
Betriebsmaßnahmen
Im Betrieb müssen Sie die richtige Absorptionsscheibe auswählen, die Substrate positionieren und die Vakuumpumpe einschalten, um sicherzustellen, dass die Substrate nach der Absorption gedreht wird. Die Operation ist schnell und innerhalb der festgelegten Zeit durchgeführt. Nachdem der Motor gestoppt ist, kann der obere Deckel geöffnet werden, um die Folie zu entfernen, und die Pumpkammer muss regelmäßig gereinigt werden, um zu verhindern, dass Kleim in verstopfte Gaswege eintritt.