1. Vorbereitung vor der Operation
Probenvorbehandlung: Stellen Sie sicher, dass die Probe trocken und frei von flüchtigen Substanzen ist (vermeiden Sie die Verschmutzung des Spiegels), die leitfähige Probe kann direkt verwendet werden, und die nicht leitfähige Probe muss mit Gold / Kohlenstoff behandelt werden (verhindern Sie die Ansammlung von Ladungen); Die Probengröße muss sich an den Probentesch anpassen, um den Tragbereich zu vermeiden.
Instrumentenprüfung: BeobachtungField Launch Scan ElektronenmikroskopIst die Stromversorgung, das Vakuumsystem normal, gibt es keine Restproben oder Müll im Spiegel, und der Flüssigkeitsniveau des Kühlsystems (z. B. flüssiger Stickstoff) erfüllt die Anforderungen.
Sicherheitsvorschriften: Tragen Sie Schutzhandschuhe (um eine Fingerabdruckvereinigung der Probe / des Instruments zu vermeiden), es ist streng verboten, eine Elektropistole zu öffnen, wenn das Vakuum nicht die Norm erfüllt, fern von der Beobachtungsöffnung des Spiegels (Strahlungsschutz).
2. Kernbetriebsschritte
1. Probenbelastung
Öffnen Sie die Tür des Probenraums und befestigen Sie die vorbehandelte Probe auf dem Probentesch (stellen Sie sicher, dass die Installation fest ist und vermeiden Sie Bewegungen);
Schließen Sie die Tür des Probenraums, starten Sie das Vakuumsystem und warten Sie, bis der Vakuumgehalt die Instrumentanforderungen erfüllt (normalerweise wird die Anzeige "Vakuumfertig" angezeigt).
2. Starten Sie die Elektropistole mit den Parametereinstellungen
Nachdem das Vakuum den Standard erreicht hat, öffnen Sie die Elektropistole und wählen Sie die Beschleunigungsspannung (je nach Probentyp, in der Regel 1-30kV, leitfähige Proben können hohe Spannung haben, nicht-leitfähige Proben mit niedriger Spannung);
Stellen Sie den Emissionsstrom ein (befolgen Sie den empfohlenen Bereich des Instruments, um zu große Schäden an der Probe oder dem Instrument zu vermeiden).
Beobachtung und Positionierung der Probe
Regeln Sie die XYZ-Achse der Probentasche, um den Zielbereich durch ein optisches Mikroskop oder ein niedriges Elektronenbild zu finden;
Wechseln Sie auf die geeignete Vergrößerung (schrittweise von niedriger auf höhere Vergrößerung, niedrige Vergrößerung für Positionierung, höhere Vergrößerung für Detailbeobachtung).
4. Bildeinstellung und -erfassung
Helligkeit und Kontrast einstellen, um das Bild klar zu machen (vermeiden Sie zu hell oder zu dunkel);
Auswahl der Bildauflösung (je nach Bedarf angepasst, hohe Auflösung für Detailanalyse, niedrige Auflösung für schnelle Vorschau);
Klicken Sie auf die Schaltfläche "Erfassen", um das Bild zu speichern (JPG, TIFF usw. auswählbar).
5. Abschaltungsprozess
Schalten Sie die Elektropistole aus und senken Sie die Beschleunigungsspannung auf 0.
Warten Sie auf die Entlastung des Vakuumsystems (Sie können die Tür nicht zwingend öffnen) und nehmen Sie die Probe ab, nachdem die Entlastung beendet ist;
Schalten Sie die Stromversorgung des Instruments, das Kühlsystem aus und reinigen Sie den Probentesch und den Betriebsbereich.
III. Wichtige Hinweise
Wenn das Vakuum nicht die Norm erfüllt, ist es streng verboten, eine Elektropistole zu öffnen oder die Tür des Probenraums zu öffnen, sonst wird der Spiegel und die Elektropistole beschädigt werden;
Die Probe muss trocken und korrosionsfrei sein, um eine Verschmutzung des Vakuumsystems oder des Spiegelinnens zu vermeiden.
Wenn Sie das Vergrößerungsvermöglichungsfach und die Probentasche einstellen, sollte die Bewegung langsam sein, um zu verhindern, dass die Probe mit dem Spiegel kollidiert;
WennField Launch Scan ElektronenmikroskopWenn das Bild verschwimmt, entladen und andere Anomalien auftreten, schalten Sie die Elektropistole sofort aus, wenden Sie sich an das Techniker zur Prüfung und können das Instrument nicht selbst demontieren.