Was ist der Ladeeffekt?

Das Scan-Elektronenmikroskop wird hauptsächlich für die mikroskopische Morphologie der Probenoberfläche verwendet, aber während der Beobachtung der Probe wird oft das Bild aufgrund des Ladungseffekts ungewöhnlich hell, verzerrt und sogar das Bild verschwimmt, was die Bildqualität ernsthaft beeinflusst.

Abbildung 1 Elektronenemissionseigenschaften von festen Isolationsmaterialien. Die horizontale Koordinate ist die eingehende Elektronenenergie und die longitudinale Koordinate die Elektronenleistung der Probe. Das Phänomen der Ladung kann mit dem Kirchhoffer-Stromgesetz ausgedrückt werden, dass die Summe des Stroms, der zu einem bestimmten Knoten zu einem bestimmten Zeitpunkt fließt, gleich der Summe des Stroms ist, der vom Knoten ausgefließt wird. Es kann in der folgenden Formel ausgedrückt werden:

Von denen I_pist der Strom der eingehenden Elektronen, δI_(b)ist die Summe der Strome der rückverteilten Elektronen und Sekundärelektronen, I_scIst der Erdstrom der Probe, Q ist die Entladung in der Zeit t.