Der Kunde, einer der Chang-Führer bei der Industrialisierung von Siliziumkarbid-Leistungsgeräten (SiC) in China, installierte 2021 den ersten ThetaMetrisis FR-Scanner-AIO-Mic und kaufte in diesem Jahr aufgrund des guten Zustands der Maschine zusätzliche 2. und 3. Geräte (einschließlich sichtbarem und UV-Lichtbereich).
FR-Scanner-AIO-Mic Membrandickenmesser verwendet die Messung von sichtbaren Lichtinterferenzen im Wellenlängenbereich von 370-1020nm, kann die Membrandicke im Bereich von 12nm-90um messen (5X-Objektiv), Genauigkeit von bis zu 0,2% oder 2nm, Genauigkeit von 0,02nm, ist ein kostengünstiges Membrandickenmessgerät. Die UV-Lichtkonfiguration des FR-Scanners, die einen Wellenlängenbereich von bis zu 200nm aufweist, kann auf Membransticken im Bereich von 4nm bis 60um (5X-Objektive) mit einer Genauigkeit von bis zu 0,1% oder 1nm angewendet werden. Die meisten Membranstickenmesser auf dem Markt reduzieren den Membranstickenmessbereich des Geräts nach einer zusätzlichen Mikroskopkonfiguration erheblich, aber dies ist nicht der Fall bei ThetaMetrisis-Produkten, deren Membranstickenmessbereich immer noch breit ist. Es ist erwähnenswert, dass die Multipoint Mapping-Messfunktion standardmäßig in der FR-Scanner-Serie erhältlich ist.