Diese Einheit ist das Forschungsinstitut der chinesischen Akademie der Wissenschaften und ist ein wichtiges Forschungs- und Entwicklungsinstitut im Bereich der Mikroelektronik, Technologie und integrierten Schaltungen in China. Die wichtigsten Anwendungsrichtungen sind die Forschung in Verbindung Halbleitergeräte und Schaltungen.

PLSINTECUnternehmen produziertUltraShapeTMDas Wafer-Profilgrößen-Prüf- und Sortiersystem ist das Prüfsystem, das die höchste Produktionskapazität in der Branche erreicht. Die Prüfung der Wafer-Profilgröße ist im Prozess von großer Bedeutung.

Jede Phase der Halbleiterkonstruktion, Fertigung und Verpackung muss wiederholt und mehrmals geprüft und getestet werden, um sicherzustellen, dass der Prozess den vorgegebenen Indikatoren entspricht und zu verhindern, dass fehlerhafte Wafer mit Abweichungen und Mängeln in den nächsten Prozessprozess gelangen. Von der Konstruktionsprüfung bis hin zum gesamten Halbleiterherstellungsprozess haben Prüfgeräte eine unersetzliche Bedeutung.

UltraShapeTMWafer-Morphologie-Erkennung und Sortierungssystem verwendet einen hochpräzisen Hochgeschwindigkeitsspektral-konfokalen Doppelsonde-Gegenstrahlersensor, um die berührungsfreie Messung von Wafern zu erreichen; Die Kombination von hochpräzisen Bewegungsmodulen und Wafer-Robotern ermöglicht die Messgenauigkeit von Wafer-Profilen auf Submikrometer-Ebene. Das System eignet sich für Wafer aus einer Vielzahl von Materialien, einschließlich Silizium, Siliziumcarbid, Sapphir, Glas, Galliumarsenid, Galliumnitrid usw.; Mögliche Maß- und Strukturmessungen umfassenTTVundBogenundWarpundDickeundTIRundSagundLTV（VollkarteTests usw.