NegativfilterEin mehrschichtiges Membran-Gerät, das "das rote Licht gehen lässt, das blaue Licht bleibt" - scheinbar nur ein paar Mikrometer dickes Glas, bestimmt aber die Bildqualität von Laserradar, medizinischem Endoskop und Bühnenlicht. Die Fertigstellungsquote stieg von 70% auf 95%, was nicht in der teureren Beschichtungsmaschine, sondern in der Prozesssteuerung "jede Schicht im Voraus berechnen" entscheidend ist. Im Folgenden werden wir über die vier eisernen Gesetze hinter seiner hohen Fertigstellungsrate sprechen.1. Die Grundlage "saubere Oberfläche" nicht entspricht dem Standard, hinten weiß
Das B270-Glas nach dem Öffnen wird zunächst 15 min RCA-1 gereinigt (NH4OH: H2O2: H2O = 1: 1: 5, 75 °C), die organischen Rückstände auf <0,3 nm abgesenkt, dann 10 min Plasmabombardierung, die Oberfläche kann auf 72 mN · m-1 erhöht werden, so dass die Haftung der ersten Schicht Ta2O5 von 2,5 N auf 5,8 N erwähnt wird, und das anschließende Backen bei 200 °C auch nicht schält.
„Stabile Geschwindigkeit“ ist wichtiger als „hohe Geschwindigkeit“
Die Beschichtungsmaschine verwendet eine 6 cm HF-Ionenquelle, PID-geschlossene Schleife steuert die 2-Zoll-Kristallschieber, um die Schwankungen der Ablagerungsgeschwindigkeit auf ± 0,2% zu drücken. Nehmen Sie 532 nm Interferenzschnitt zum Beispiel, 21 Schichten Membran, Gesamtdicke 3,8 µm, solange die Geschwindigkeit drift um 1%, die zentrale Wellenlänge verschiebt sich um 2 nm, die Durchlaufrate sofort um 10%. Die Geschwindigkeit war stabil, die Wellenlänge wurde von ±3 nm auf ±1 nm reduziert und die Durchlaufrate um 15% erhöht.
3. Echtzeit-Extreme-Überwachung "Null-Verzögerung" Ergänzung Fehler
Während der Ionenstrahlunterstützten Ablagerung (IAD) erfasst ein Chipspektrometer alle 0,5 s die Transmissionswerte, berechnet der Algorithmus innerhalb von 1 s den tatsächlichen Brechungsgrad der aktuellen Schicht n ± 0,001 und korrigiert die Elektronenpistolenleistung umgekehrt. Schicht 7 fand, dass n um 0,8% niedriger war, und das System ergänzte sofort die Dicke von Ta₂O5 um 1,2 nm und zog die Wellenlänge zurück zum Designwert. Im Vergleich zu den herkömmlichen "Nachprüfungen der Beschichtung" sank die Umarbeitungsrate von 8% auf weniger als 1%.
4. Spannungsgleichgewicht "Sandwich" Struktur gegen Schildkröten Riss
Hochleistungslaserplatten erfordern eine Schädigungsschwelle von 60 J·cm-² und die Spannung der Membranschicht muss sich an Null nähern. Der Ingenieur wechselte Ta₂O₂ (+180 MPa) mit SiO₂ (-120 MPa) im Dickenverhältnis von 2:3 und fügte in der äußersten Schicht eine 20 nm hohe MgF₂-Niederspannungspufferschicht hinzu, wodurch die Gesamtspannung von +350 MPa auf +30 MPa unter 24 h kaltem Hitzeschlag (-40 °C) sank. ↔ Nach 85 ° C) keine Schildkröte, Umwelt-Test-Passrate von 85% zu 98% erwähnt.
Daraus ergibt sich, dass die hohe Fertigstellungsrate nicht "schnell beschichtet", sondern "genau gezählt und stabil" ist, um jeden Nanometer des Fehlers zu eliminieren, bevor das Licht in das Glas gelangt.