Mikrobild-Elliptometer ist ein Instrument, das optische Mikrobildgebung und Elliptik-Technologie kombiniert, das hauptsächlich zur Messung von Dünnfilmdicke, Brechungsgrad, Absorptionskoeffizient und anderen Parametern verwendet wird und die dreidimensionale Formverteilung der Probenoberfläche erhält.
Mikrobild-Elliptometer basiert auf dem Prinzip der elliptischen Polarisation, durch die Analyse der polarisierten Veränderungen des Zustands der Eingangspolarisierung durch die Reflexion oder Transmission der Probe, in Kombination mit der optischen Mikrobildtechnik, um die dreidimensionale Formverteilung der Probenoberfläche und die optische Parameter der Filmdicke, Brechungsgrad und andere zu erhalten.
Der Prozess umfasst:
Lichtquelle und Polarisationsregelung: Das Licht, das von der Lichtquelle ausgestrahlt wird, wird in lineares Polarisationslicht verwandelt und wird durch den Kompensator auf einen bestimmten Polarisationszustand angepasst (z. B. elliptisches Polarisationslicht).
Probeninteraktion: Polarisiertes Licht trifft auf die Probenoberfläche ein, reflektiert oder durchlässt die Probe, und der Polarisierungszustand ändert sich aufgrund der Probeneigenschaften (z. B. Dünnfilmdicke, Brechungsverhältnis).
Erkennung und Analyse: Der Polarizer misst den Polarisationszustand des reflektierten oder durchlässigen Lichts (in der Regel mit elliptischen Winkeln Ψ und Δ beschrieben) und berechnet in Kombination mit physikalischen Modellen (z. B. Dünnfilm-Optik-Theorie) die Dicke, den Brechungsgrad und andere Parameter der Probe. Gleichzeitig erfasst das CCD-Bildsystem elliptische Parameter an verschiedenen Stellen der Probenoberfläche und bildet ein dreidimensionales Bild der Form und der Dickenverteilung.
Betriebsmaßnahmen
Probenvorbereitung:
Die Oberfläche der Probe muss glatt und sauber sein, um Staub oder Kratzer zu vermeiden, die die polarisierte Lichtreflektion beeinflussen.
Bei mehrschichtigen Membranproben muss ein vernünftiges physikalisches Modell erstellt werden, um die Messgenauigkeit zu verbessern.
Umgebungssteuerung: Umgebungsfaktoren wie Temperatur, Vibrationen, Streulicht können die Messstabilität beeinflussen und müssen auf einer thermostatischen, schockfesten optischen Plattform betrieben werden.
Datenverarbeitung:
Verwenden Sie eingebaute Algorithmen, um experimentelle Daten und theoretische Modelle anzupassen, Probenparameter zu berechnen und Ergebnisse zu visualisieren.
Bei komplexen Proben müssen mehrere Analysetechniken kombiniert werden, um genauere Ergebnisse zu erzielen.