Die Kalibrierung eines Massenflussreglers ist ein mehrstufiger Prozess, der darauf abzielt, die Genauigkeit und Zuverlässigkeit des Durchflussreglers in Bezug auf Ablesungen und Ausgaben zu gewährleisten. Im Folgenden:QualitätsflussreglerSpezifische Methoden der Kalibrierung:

1. Vorbereitung auf die Umweltbedingungen

Stellen Sie sicher, dass die Kalibrierungsumgebung stabil ist, dass die Temperatur bei (20 ± 5) °C und die Feuchtigkeit im Bereich von 45% RH bis 75% RH gesteuert wird.

Vermeiden Sie atmosphärische Druckveränderungen, Vibrationsstörungen und Magnetfeldstörungen.

Ausrüstungsprüfung und -verbindung

Überprüfen Sie, ob der Massenflussregler und seine zugehörigen Geräte (z. B. Standard-Durchflussmesser, U-Rohr-Druckmesser, Sekundenzähler, digitale Multimeter, Gaszylindern usw.) intakt sind und ob die Messreihe und Genauigkeit den Anforderungen entsprechen.

Reinigen Sie die Rohrleitung, um Dichtung zu gewährleisten.

Die richtige Verbindung von Zylindern, geprüften Reglern, Standarddurchflussmessern und U-Rohr-Druckmessern sorgt dafür, dass alle Verbindungsteile frei von Leckagen sind.

3. Kalibrierungsschritte

Aussehen und Vorprüfung:

Überprüfen Sie, ob das Aussehen des Controllers beschädigt ist, ob die Tasten in Ordnung sind und ob das Display klar ist.

Schalten Sie die Stromversorgung ein, erwärmen Sie sie auf die vorgeschriebene Zeit (in der Regel 15 bis 30 Minuten) und beobachten Sie, ob der Durchflusswert Null ist, wenn nicht Null.

2. Leitungsverbindung und Leckage:

Wählen Sie den passenden Standarddurchflussmesser nach dem durchflussbereich des geprüften Reglers aus, um die Luftwege gut anzuschließen.

Stellen Sie sicher, dass die Dichtung an der Schnittstelle keine Leckagen hat, und für Hochdruckgase sollten die Luftdichtkeitsprüfungen erhöht werden.

Nullpunktkalibrierung:

Regelung, um sicherzustellen, dass keine Luftströmung im gesamten Strömungssystem durchläuftQualitätsflussreglerEin interner Nullpunktpotentiator, so dass der Datenverkehrsleswert auf der digitalen Anzeige Null ist.

4. Anzeigefehlerkalibrierung:

Stellen Sie mehrere verschiedene Durchflusspunkte (z. B. 0%, 25%, 50%, 75% oder 100% des vollen Messbereichs) über ein Reglerventil oder ein Durchflussmesser ein.

Erfassen Sie die Messwerte von Standarddurchflussmessern und geprüften Durchflussmessern und berechnen Sie die Wertfehler.

Wiederholen Sie die Messung mehrmals und nehmen Sie den Durchschnitt, um die Genauigkeit zu verbessern.

Reaktionszeit Kalibrierung:

Legen Sie eine Verkehrsstufenvarianz fest (z. B. von 0% auf 50% oder von 50% auf 100%).

Zur gleichen Zeit startet die Uhr, um die Zeit aufzuzeichnen, die benötigt wird, um die Antwort des kontrollierten Controllers zu stabilisieren.

Die Reaktionszeit muss den Anforderungen der technischen Spezifikationen entsprechen, sonst müssen interne Parameter angepasst oder Teile ausgetauscht werden.

Wiederholte Kalibrierung:

Wählen Sie 2 bis 3 verschiedene Durchflusspunkte für wiederholte Tests.

Jeder Durchflusspunkt wird mehrmals (z. B. sechs Mal) gemessen, die Messungen aufgezeichnet und die wiederholten Fehler berechnet.

Stellen Sie sicher, dass die Wiederholbarkeit die Anforderungen erfüllt, um die Konsistenz und Zuverlässigkeit der Steuerung zu beweisen.

Kalibrierung der Steuerleistung (z. B. mit externer Steuerung):

Senden Sie Steuerbefehle über ein externes analoges Signal oder eine Kommunikationsschnittstelle.

Beobachten Sie die Genauigkeit und Aktualität der durchgeführten Steuerungsvorgänge.

4. Datenaufzeichnung und Ergebnisbeurteilung

Aufzeichnung der Daten während der Kalibrierung, einschließlich der Durchflusseinstellungen, der Standarddurchflussmessermessungen, der untersuchten Durchflussmessermessungen, der Zeit, der Temperatur und anderer Umgebungsbedingungen.

Anhand der Kalibrierungsdaten wird bestimmt, ob Indikatoren wie Wertfehler, Wiederholbarkeit und Reaktionszeit des kontrollierten Controllers den Anforderungen der technischen Spezifikationen entsprechen.

V. Erstellung und Archivierung von Berichten

Organisieren Sie Kalibrierungsdaten und erstellen Sie Kalibrierungsberichte. Der Bericht sollte Informationen über das kalibrierte Gerät, die Kalibrierungsgrundlage, die Kalibrierungsprojekte, die Kalibrierungsdaten, die Unsicherheit/Genauigkeit, die Kalibrierungserschlüsse usw. enthalten.

Archivieren Sie Kalibrierungsberichte für die Nachverfolgung und Qualitätskontrolle.

Spezielle Kalibrierungsverfahren (z.B. Kalibrierungsverfahren in der Erfindung)

In einigen Fällen können spezielle Kalibrierungsmethoden verwendet werden, wie z. B. die Berechnung des tatsächlichen Durchflusses durch Erfassung des Kammerluftdrucks und den Vergleich mit dem eingestellten Durchfluss, um die Genauigkeit des Massenflussreglers zu beurteilen. Diese Methoden beinhalten in der Regel komplexe Berechnungs- und Messschritte, die professionelle Geräte und Techniker erfordern.

　　QualitätsflussreglerDie Kalibrierung ist ein strenger und sorgfältiger Prozess, der streng den Betriebsprozessen entspricht. Durch die Kalibrierung können die Genauigkeit und Zuverlässigkeit der Steuerung in Bezug auf Ablesen und Ausgaben gewährleistet werden, was die Leistung des gesamten Durchflusssteuerungssystems verbessert.