1. Name des Instruments

Chinesischer Name:Field Launch Scan Elektronenmikroskop

Englischer Name:Feldemissionsscannelektronenmikroskop

2. Modell:ZEISS GEMINI 500

3. Hersteller:Deutsche ZEISSZEISS

4. Instrumenteinführung：

ZEISS Gemini 500Das Scan-Elektronenmikroskop ist ein voll funktionsfähiges Feld-Emissions-Scan-Elektronenmikroskop (FE-SEM), kann mit hoher Auflösung, hoher Beschichtung und hohem Signal-Rausch-Verhältnis mit Sekundärelektronen und Rückstreuelektronen durchgeführt werdenIn-ObjektivDie Prüfung ermöglicht auch anspruchsvolle, nicht-leitfähige Proben, um ein klares Bild zu erhalten und ermöglicht eine Vielzahl von Proben für die Auskleidung und die Niederspannungsabbildung. Gleichzeitig mit Brooke.XStrahlenergiespektrometer, die weit verbreitet in der Mikrozonen-Morphologie und Komponentenanalyse verwendet werden können.

Hauptmerkmale und technische Indikatoren des Instruments:

1Auflösung:≤0,6 nm@ 15 KV(Elektronik) ≤1.1nm@1kV(Sekundäre Elektronik, keine speziellen Muster); ≤1,2 nm@ 500V；

2. Vergrößerung:20-2,000,000

,Abhängig von der Veränderung der Beschleunigungsspannung und der Arbeitsabstand kalibriert der Vergrößerungsvermöglichungsfaktor automatisch, niedrige Vergrößerung und hohe Vergrößerung erfordern keinen Modus-Austausch;

3. Elektronische Waffe: ShotkieWärmestartElektronische Waffen;

4. Beschleunigungsspannung oder Landespannungsbereich:0,02 kV～30 kVSchritt.10Vkontinuierlich einstellbar;

5. Sondenstrom: Maximalstrom ≤100nA；

6. Der Spiegel verfügt über eine elektrostatische Linse, dieFerromagnetische MaterialienHochauflösende Bildgebung;

7. Maximale Probengröße ≥200 mmMaximale Probenhöhe ≥60 mm；

8. Fünf-Achs-zentraler Motorantrieb Probentasch, maximaler BewegungsbereichIndikatoren:X ≥130mm，Y≥130mm，Z≥50mmZwei Richtungen Neigung, Neigungsbereich-3°-70°Drehen ≥360°(kontinuierlich drehen);

9. Der Probenraum verfügt über einen unabhängigen Elektronendetektor für Rückstreuung (EsB）；

10. Probe-Innen-Sekundärelektronik-Detektor (SE）；

11. Ultra-hohe Auflösung auf der optischen Achse im SpiegelIn-ObjektivSekundäre Elektronendetektoren (In-Lens SE）；

12. Ausgestattet mit Gasschloss (LuftsperreErsatz Probe Pumpen Vakuumzeit ist kürzer;

13. Spektrometer ≥60 mm²Fläche der aktiven Zone

Hauptfunktionen des Instruments und seine Verwendung:

1. Mikromorphologische Beobachtung von Materialien in den Bereichen Materialwissenschaften (Metallmaterialien, Nichtmetallmaterialien, Nanomaterialien, organische Materialien), Chemie, Metallurgie, Biologie, Medizin, Halbleitermaterialien und -geräte, Geoforschung, kriminelle Aufklärung, industrielle Produktion usw. (Flüssigkeitsproben müssen vollständig getrocknet werden, bevor sie getestet werden können)

2. Echtzeit-Mikrozonenkomponentenanalyse für Materialien, Quantitative und qualitative Komponentenanalyse für Elemente, schnelle Multi-Element-Flächenscans und Punkt- und Linienscan-Verteilungsmessungen.

7. Instrumentenbilder

8. Anwendungsbeispiele

1. Profilanalyse:

Für die Vorbereitung einer metallischen Silbernanostruktur benötigt eine Fachgruppe die Beobachtung ihrer mikroskopischen Profilstruktur, um zu bestätigen, dass dieses Silbernanomaterial gute Anwendungsaussichten im Bereich der Katalyse hat. Wir testeten die Probe mit unterschiedlichen Vergrößerungsvermöglichungen, unterschiedlichen Scan-Mustern und Spektrologietests mit folgenden Ergebnissen:

1.1 Unterschiedliche Vergrößerungen beobachten

1.2 Beobachtung in verschiedenen Scanmodus

2. EDSQualitative Analyse der Elemente:

2.1Punkt Scannen

2.2 Linie-Scan

2.3 Gesichtsscan

Hinweis: Der Artikel wurde in der Fakultät für Materialwissenschaften und Ingenieurwesen der Technischen Universität von Zilu reproduziertZEISS G500 Ultrahochauflösendes Scan-Elektronenmikroskop»