In der Halbleiter-Tief-UV-Lithographie-Prozess, NH3, HCL, HF und andere Spuren-Grad-AMC-Luftmolekular Schadstoffe sind der "unsichtbare Killer" der Produktqualität, seine Reaktion mit chemisch verstärkten Lithographie-Kleber wird die Leistung der Halbleiter-Geräte direkt beeinflussen, während die herkömmlichen Überwachungsmethoden komplex sind, die Reaktion verzögert ist, die Genauigkeit ist unzureichend, um die Anforderungen der Branche an Echtzeit-Präzisionsüberwachung zu erfüllen. Vor diesem Hintergrund hat Duketech das Orion 3100S AMC Molecular Air Pollution Monitoring System vorgestellt, das Technologien zur Überwachung von Halbleiterreinräumen zur Verfügung stellt, die den Schwerpunkt der Branche durchbrechen.

Als speziell für die Halbleiterindustrie entwickeltes Überwachungsgerät basiert der zentrale Vorteil des Orion 3100S AMC Molecular Air Pollution Monitoring Systems auf der CEAS-Technologie (Cavity Enhanced Absorption Spectrum). Im Vergleich zu herkömmlichen indirekten Messmethoden wie Stoßstaubfilter, Ionenchromatografie und CRDS-Technologie muss das System keine strenge Ausrichtung des Laserstrahls erfordern, eine einfache Installation und eine hohe mechanische Stabilität ermöglichen die schnelle und präzise Erfassung von Spuren von Schadstoffen. Die Prüfgenauigkeit erreicht das industrielle Niveau, die HCl- und HF-Detektionsgrenze ist auf 0,1 ppb niedrig, die NH3-Detektionsgrenze ist weniger als 0,1 ppb, um die Echtzeitmessung auf Sub-ppb-Ebene zu erreichen und gleichzeitig die Kreuzstörungen von Wasserdampf, CO2, O₂ und anderen Komponenten in der Atmosphäre effektiv zu vermeiden, um die Präzision und Zuverlässigkeit der Daten sicherzustellen.

Das System passt sich in seiner funktionalen Konstruktion vollständig an die Halbleiterproduktionsszenarien an und verfügt über mehrdimensionale Kernkompetenzen. Die extrem schnelle Reaktionsgeschwindigkeit, die die Prüfung in nur 5 Sekunden pro Kanal erfüllt, bietet eine flexible Konfiguration von 1 bis 64 Kanälen, die einen breiten Messbereich abdeckt und die Anforderungen an eine hochempfindliche Reaktion auf mehrere Gase erfüllt. Ein eingebauter Linux-System-Computer mit großem Datenspeicher und Multi-Interface-Ausgang für die Integration von 4-6 Analyzerdaten über Ethernet, RS485/RS232 oder 4-20mA-Analogmodule. Die exklusive DUKE HMI-Software integriert Funktionen wie Mehrpunktabnahmesteuerung, Echtzeit-Datenkurvenanzeige, Alarme und historische Trendanalysen, unterstützt die Fernnetzwerksteuerung, ermöglicht den Benutzer mehrere Ebenen der Berechtigungen an jedem angeschlossenen Standort über den Browser und verbindet sich mit dem Hauptsitz von Duke Tech oder dem Dienstleister zur Ferndiagnose.

Darüber hinaus ist das Orion 3100S AMC Molecular Air Pollution Monitoring System so praktisch und kostengünstig wie möglich. Entfernbarer Schrank aus Edelstahl 310, Plug-and-Use, Reinraum-Bereitstellung in wenigen Minuten; Kein Verbrauch von Reagenzien, Strahlenquellen und anderen Verbrauchsmaterialien, keine abnehmbaren Komponenten für Festkörperelektronik, extrem niedrige Wartungskosten und eine lange Wartungsfreiheit. Das System verfügt auch über unabhängige programmierbare Alarme, Relaiseinstellungen, keine Verluste von Stromausfalldaten, eine Probenahme von 80 m langen Rohrleitungen und andere Vorteile. Das offene Kommunikationsprotokoll erleichtert die sekundäre Entwicklung und Integration und passt sich an die anspruchsvollen Produktionsanforderungen der Halbleiterindustrie an.

Die Einführung dieses Systems kann nicht nur die Impedanz-Konsistenz von Halbleitergeräten effektiv verbessern, die Lebensdauer des Filters verlängern, die Ausfallzeiten der Produktion verringern und auch die Technologie zur Förderung des Niveaus der sauberen Produktion in der Industrie beitragen. Mit langjähriger Erfahrung in der Halbleiterbranche bietet Duktec Halbleiterunternehmen eine zuverlässige AMC-Überwachung durch Technologie und Service.