UPSSS SäurereinigerDurch die Synergie des PFA-Materials und des geschlossenen Designs werden die Probleme der Korrosionsbeständigkeit, der Verschmutzungskontrolle und der Betriebssicherheit in der hochkorrosiven Säurereinigung effektiv gelöst. Der spezifische technische Weg und die Vorteile sind wie folgt:
PFA-Material: Kernsicherheit für Korrosionsbeständigkeit und chemische Stabilität
Eigenschaften des Materials
PFA (Schmelzbares Polytetrafluorethylen) ist das beste Material in Fluorkunstoffen mit folgenden Eigenschaften:
Beständig gegen starke Säure und Alkali: Langfristig beständig gegen die Erosion von hochkorrosiven Säuren wie Fluorwasserstoff (HF), Salzsäure (HCl), Sticksäure (HNO3) und keine chemische Reaktion mit Säure.
Hohe Temperaturbeständigkeit: Betriebstemperaturbereich von -200 ° C bis + 260 ° C, um sich an die hohe Temperatur der subkochenden Destillation (Flüssigkeitstemperatur unter dem Siedepunkt) anzupassen.
Niedrige Auflösung und Abbau: Der Gehalt an Metallelementen (wie Blei, Uran) liegt unter 0,01 ppb, um sicherzustellen, dass es keine Sekundärverschmutzung während der Reinigung gibt.
Oberflächenglättigkeit: niedriger Reibungskoeffizient, reduziert Säurerückstände und ist leicht zu reinigen und wiederzuwenden.
Anwendungsszenen
Innere Galle des Säurereinigers: PFA-Innere Galle kommt in direkten Kontakt mit hochkorrosiven Säuren, um eine Verschmutzung durch Metall oder Quarzmaterial zu vermeiden.
Rohrleitungen und Ventile: Vollprozess-PFA-Rohrleitungen sind so konzipiert, dass Säuren während des Transports nicht in Kontakt mit Metallteilen stehen.
Sammelbehälter: Die begleitende PFA-Flasche wird hochreine Säure aufgeladen, um sicherzustellen, dass die Säurereinheit nicht vom Behältermaterial beeinflusst wird.
2. Verschlossenes Design: Doppelte Verbesserung der Verschmutzungskontrolle und der Betriebssicherheit
Ganz prozessgeschlossene Umgebung
Verschmutzung verhindern: Verschlossene Kammern isolieren Staub, Feuchtigkeit und organische Stoffe in der Luft, um Verunreinigungen in Säuren zu vermeiden.
Reduzierung der Sauergasflucht: Doppelte Abluftöffnungen sind mit einer PTFE-Filterfolie ausgestattet, die sowohl den Druck als auch die Staubschutz einstellt und sauere Gase filtert, um die Umweltrisiken im Labor zu verringern.
Kondensator-Kuppeldesign: Effiziente Luftkühlungstechnologie ersetzt die herkömmliche Wasserkühlung, um den Rückfluss von Kondensatwasser zu vermeiden und gleichzeitig den Installationsprozess zu vereinfachen.
Sicherheitsschutzmechanismus
Sicherungsüberströmungsschutz: Verhindert, dass eine Überhitzung des Heizsystems Anlagenschäden oder Säurelecks verursacht.
Vor-Injektion Säure: Klare Skala, einfache Bedienung, reduziert das Spritzrisiko bei künstlicher Säurezuführung.
Kleine Größe: Konventionelle chemische Lüftungsschränke können einfach platziert werden und die Steuerung kann außerhalb des Lüftungsschränks platziert werden, um das Risiko des Bedieners zu verringern.
Technische Synergien: Durchbruch vom Labor zur Industrialisierung
Effizienz und Reinheit verbessern
Subkochende Destillationstechnik: Durch das Prinzip der thermischen Strahlung wird die Flüssigkeitstemperatur unter dem Siedepunkt verdampft, um die Verunreinigungen durch das Überkochen zu vermeiden.
Mehrstufige Reinigungsfähigkeit: Experimentell wurde gezeigt, dass eine einzige Destillation den Gehalt an Metallreinheiten von 10 ppb auf 0,01 ppb senken kann. Bei höherer Reinheit kann die Reinigungszahl erhöht werden.
Breite Kompatibilität: kann HNO3 verarbeiten, HCl、HF、 Alkalische Lösungen und organische Lösungsmittel, um die hohen Präzisionsanforderungen wie ICP und ICP-MS zu erfüllen.
Kosten und Umweltvorteile
Reduzierung der Reagenzkosten: Verringerung der Abhängigkeit von marktüblichen ultrareinen Säuren durch die Reinigung kostengünstiger industrieller Säuren auf elektronische Reinheit.
Reduzierung von Abfall: Die geschlossene Konstruktion verhindert das Lecken von Säure und reduziert die Kosten für die Abwasseraufbereitung und entspricht dem Konzept der grünen Chemie.
Typische Anwendungsfälle: Praxisprüfung in der Halbleiterindustrie
12-Zoll-Wafer-Herstellung: Der Gehalt an Metallverschmutzungen in der UPSSS-Klasse Fluorwasserstoff (HF) muss bei Erosion, Reinigung usw. unter 0,1 ppm liegen. Der PFA-Säurereiniger sorgt dafür, dass die Säurereinheit die Prozessanforderungen erfüllt und die Wafer-Effizienz verbessert, indem er in einer geschlossenen Umgebung mit dem PFA-Material synergisiert.
Oxidationsinduzierende Phase (OIT) Test: Bei der Hochtemperaturoxidationsstudie von Polyolefin-Materialien kann die von PFA-Säurereiniger bereitgestellte ultrareine Säure die Oxidationsreaktionszeit genau bestimmen und die Materialmodifizierung mit Daten unterstützen.