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E-Mail-Adresse
huijuan_sun@bct-tech.com
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Telefon
18610719775
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Adresse
Gebäude 1, Anqing Avenue, 6, Shunyi District, Beijing
Lösung
Beijing Boside Technology Co., Ltd
Programmüberblick
Angetrieben durch die Nachfrage nach künstlicher Intelligenz und leistungsstarken Rechnen und durch die Entwicklung von Halbleitermaterialien und Kerntechnologien der vierten Generation ist die Chip-Leitungsbreite schnell von 70 nm in das Zeitalter unter 7 nm eingetreten. Bei Produktionsprozessen unter 30 nm ist die Bedeutung der Detektion von Spurgasmolekularen Schadstoffen (AMC) auf eine sehr wichtige Höhe gestiegen.
Die Präzisierung der AMC-Überwachung, die umfassende Überwachung, die automatisierte Analyse von Big Data und die Einführung des Konzepts der intelligenten Steuerung von KI spielen eine entscheidende Rolle bei der Verringerung der positiven Auswirkungen von AMC.
BCT-AMC-Serie, Halbleiterprozess-Umweltüberwachungssystem, die eine Reihe von Szenarien wie Online-Überwachung, Laboranalyse, Maschinen-Vor-Ort-Rückverfolgungsanalyse umfasst, präzise vollständige Quantitätsanalyse von mehr organischen Arten, hohe Automatisierung und Integration des Analyseprozesses, in Zusammenarbeit mit einer dedizierten AMC-Verschmutzungsdatenbank und einer Entsorgungslösungsbibliothek, unter der Unterstützung von KI-Technologie, löst wirklich die praktischen Probleme der Abteilung für die Verwaltung von Produkten und der Abteilung für die Kontrolle von Mikroverschmutzungen.
Typische Szene
Prozesspunkt - Online-Automatisierung von Präzisionsanalysesystemen für AMC (VOCs)
Produktionsüberwachung Online-Überwachung:
• Verwenden Sie ein ultrareines PFA-Probenrohr für die Fabrikstellung mit einem Überwachungsbereich von bis zu 35.000 m2 bis 75.000 m2
• Automatische Probenahme, Konzentration, GC-MS-Analyse, Cloud-Storage, KI Automatische Erzeugung von Prüfberichten mit Schwellenalarm
Automatisierte 7×24-Stunden-Planungsüberwachung
• Inertisierte Beschichtung des gesamten Prozesses, um Rückstände und Adsorption zu vermeiden
• Spezielles Erfassungssystem und Fokussierungssystem, das die Erkennungslinie erheblich verbessert und die Spitzenform schärfer ist
Verdächtige Punkte - Präzisionsanalysesysteme für AMC (VOCs) im Labor
Manuelle Probenahme im Labor:
• Das System wird im Labor verwendet, basierend auf der starken Erfassungskapazität, der starken Fähigkeit zur Entfernung von Verunreinigungen, der starken Adsorptionsfähigkeit, der hohen Präzision der Probenahme, der speziellen Luftweg, dem gesamten Prozess kein Kältepunkt, die Reinigung sehr sauber und andere Merkmale, die Zusammenwirkung, um eine niedrigere Detektionsgrenze zu erhalten
• Quantitative Analyse unbekannter Komponenten: Das System ermöglicht eine vollständige Analyse der Probe
• Speziell für Halbleiterunternehmen entwickelte Methodenpakete zur Detektion von AMC-Substanzen (VOCs)
• Langfristige Erkennung: Schnelle Qualifizierung von quantitativen Schadstoffen und rechtzeitige Erkennung der Quellen von AMC-Schadstoffen (VOCs)
Wafer-Quartz-Heizofen, Heizung flüchtig Probe:
• Speziell für Halbleiterunternehmen entwickelte Methodenpakete zur Detektion von AMC-Substanzen (VOCs)
• Langfristige Erkennung: Schnelle Qualifizierung von quantitativen Schadstoffen und rechtzeitige Erkennung der Quellen von AMC-Schadstoffen (VOCs)
Arbeitstisch - tragbares Präzisionsanalysesystem für AMC (VOCs)
Arbeitstisch - Analyse der Verschmutzung:
• Schnelle Analyse
Mono-Massenspektrum-Navigationsmodus, das Instrument ohne die Chromatografie-Säule direkt in das Massenspektrum, sekundäre Analyse, Echtzeit-Daten.
• Hohe Empfindlichkeit
Gezielte Nachverfolgung mit höherer Empfindlichkeit: Mono-Massenspektromodus, sekundäre Reaktion, dynamische Echtzeit-Anzeige der Verschmutzung und, falls erforderlich, das Screenen von Ionen mit dem SIM-Modus für gezielte Navigation.
Membranprobentechnologie ermöglicht eine sekundäre Anreicherung der Probe, bevor sie in das Massenspektrum eintritt, um die Empfindlichkeit zu erhöhen
• Rückverfolgungsgenauigkeit
Neuer Navigationsmodus, tief in die Werkstatt, direkt zur Quelle
Die Qualität der herkömmlichen Navigationsausrüstung ist leichter und seismischer, auf der Grundlage der herkömmlichen Navigation können Sie weiter in die Werkstatt eintreten, präzise Rückverfolgung des Prozesspunkts zur Schadstofferzeugung, um Unternehmen zu helfen, die Verwaltung der Schadstoffstellen zu erreichen.
• Genaue Ergebnisse
Doppel-Arbeitsmodus: Navigationsmodus + GC-MS-Analysemodus
Qualitative Quantifizierung von VOCs in der Luft mit einer 70 eV EI-Quelle + 4-Stufe-Stab-Massenspektrum, basierend auf der Standard-NIST-Spektrologie, Genauigkeit; Die Ergebnisse sind mit dem Labor vergleichbar.
• hohe Umweltverträglichkeit
Nichtmechanische Pumpenvakuumsysteme für höhere Umweltverträglichkeit
Verzicht auf drehbare Komponenten mit hoher Geschwindigkeit und Verwendung einer nichtmechanischen Vakuumpumpe, um Probleme wie die Unfähigkeit der Erfassung bei starken Vibrationen in mehreren Dimensionen zu lösen.
Datenergebnisse und Testspektrogramme
Halbleiterverarbeitungsanlagen und Anlagenumgebung AMC-Überwachungslösungen wurden eingeführt. Für weitere Informationen kontaktieren Sie uns bitte!