Der hochenergetische Laser konzentriert sich auf die Oberfläche der Bodenprobe und erzeugt ein lokales Plasma. Wenn die freien Elektronen sich mit den ionisierten Atomkernen zusammensetzen und wieder in den Grundzustand relaxieren, leuchten die Atome. Da jedes Element (und Isotope) ein Emissionsspektrum* mit einer sehr schmalen Spektrallinienbreite hat, können verschiedene Atomabstandteile in der Probe direkt dekonvolluiert und identifiziert werden, indem sie mit bekannten Spektraldatenbanken verglichen werden.