Bei der Herstellung von Photovoltaikzellen,Gleitschiene PECVD(Plasma-Verbesserung der chemischen Gasphase-Ablagerung) Gerät übernimmt die Kernaufgabe der Vorbereitung der Reduzierung der Reflexionsfolie und der Passivierungsschicht, deren Leistung direkt bestimmt die Transformationseffizienz der Batterieplatte und die Produktionskapazität der Produktionslinie. Mit der Skalierung der PV-Industrie und der Beschleunigung der technologischen Iteration müssen Unternehmen beim Kauf von GleitschienenPECVD die Kapazitätsanforderung als Anker nutzen, um die Schlüsselindikatoren wie die Einzelkammerabscheidungsrate, die kompatible Größe des Substrats und den Energieverbrauch präzise zu steuern, um die Leistung der Geräte und die Produktionsanforderung zu erreichen, um die Grundlage für die Kostensenkung zu schaffen.
Die Single-Kammer-Ablagerungsrate ist ein Kernindikator, der die Kapazitäts-Obergrenze bestimmt, und muss vollständig an den Produktionslinientakt angepasst werden. Die Ablagegeschwindigkeit ist direkt mit der Ablageverarbeitung innerhalb der Einheitszeit verbunden. Beispielsweise bei der PERC-Batterieproduktion erreicht eine Ablagegeschwindigkeit von 120 Stück/Stunde mit einer 8-Kammer-Konstruktion eine Verarbeitungsleistung von fast 1.000 Stück/Stunde, um den Kapazitätsbedarf von GW zu erfüllen. Bei der Beschaffung sollte beachtet werden, dass die Ablagerungsrate nicht so hoch wie möglich ist, um das Gleichgewicht mit der Membranschichtqualität zu erreichen - einige Geräte durch die Erhöhung der Leistung forcieren, die Geschwindigkeit zu beschleunigen, was zu einer Abweichung der Gleichmäßigkeit der Membranschicht führen kann und die Batterieumwandlungseffizienz beeinflussen kann. Es wird empfohlen, Geräte mit einer breiten, einstellbaren Ablagegeschwindigkeit (50-150 Stück/Stunde) vorzugsweise zu wählen, die sich sowohl an die hohen Produktionskapazitätsanforderungen anpassen können als auch flexibel anpassen können, um die Membranschichtqualität der experimentellen Produktion zu gewährleisten.
Die kompatible Größe der Substrate bestimmt die technische Zukunftsfähigkeit der Geräte und die Anpassung der Produktionslinie, die auf der Gegenwart und der Zukunft ausgerichtet ist. Die aktuelle Mainstream-Photovoltaik-Basisgröße wurde von 166 mm auf 182 mm und 210 mm groß aufgerüstet, große Basisgrößen können die Einheitsleistungskosten verdünnen, stellen jedoch höhere Anforderungen an die Kammerstruktur und die Gleitschienengenauigkeit der Geräte. Bei der Beschaffung muss sichergestellt werden, dass das Gerät mit den aktuellen Mainstream-Größen und den zukünftigen 1-2-Generation-Upgrade-Größen kompatibel ist, um eine vorzeitige Ausfall des Geräts aufgrund der Iteration der Basisplatte zu vermeiden. Gleichzeitig konzentrieren Sie sich auf die Positionierungsgenauigkeit der Substratübertragung (innerhalb von ± 0,5 mm), die genaue Positionierung kann die Fragmentierungsrate im Übertragungsprozess reduzieren, insbesondere in der Produktion großer Substrate (210 mm), die Fragmentierungsrate unter 0,1% kontrollieren und den Materialverlust reduzieren.

Energieverbrauch und Wartungskosten sind entscheidende Faktoren, die die Produktionseffizienz beeinflussen, und die Kosten des gesamten Lebenszyklus müssen berücksichtigt werden. Der Energieverbrauch von Schienenbild-PECVD konzentriert sich hauptsächlich auf die HF-Stromversorgung, das Heizsystem und die Vakuumpumpe. Durch die Optimierung der Kammerisolierungsstruktur und der Energieeffizienz kann der einheitliche Energieverbrauch auf weniger als 0,8 kWh / Piece reduziert werden, was 15% -20% der Stromkosten im Vergleich zu herkömmlichen Geräten spart. In Bezug auf den Betrieb und die Wartung muss man sich auf den Austauschzyklus und die Kosten der Verschleißteile konzentrieren - zum Beispiel sollte die Lebensdauer der Elektrodenplatte nicht weniger als 10.000 Stunden sein, der Austauschzyklus des Vakuumpumpenöls wird auf mehr als 6 Monate verlängert, während die Ausrüstung eine Frühwarnfunktion hat, durch die Echtzeitüberwachung des Kammerdrucks, der HF-Leistung und anderer Parameter, den Fehler im Voraus vorherzusagen und Wartungsanweisungen zu schieben, um ungeplante Ausfallzeiten zu reduzieren.
Darüber hinaus können die Integrationsfähigkeit der Automatisierung und die Qualitätskontrolle der Membranschicht nicht vernachlässigt werden. Die Geräte müssen nahtlos mit Front-Back-End-Automatisierungsgeräten (z. B. automatischen Zuladegeräten, Prüfgeräten) verbunden sein, um den gesamten Prozess von der Substrateingabe bis zur Membranendetektion zu automatisieren und Effizienzverluste und Fehler durch menschliche Eingriffe zu reduzieren. In Bezug auf die Qualitätskontrolle der Membranschicht sollte eine Ausrüstung ausgewählt werden, die mit einem Online-Membranschichtüberwachungssystem ausgestattet ist, um die Membranschichtdicke (Genauigkeit ± 2 nm) und den Brechungsgrad in Echtzeit zurückzuführen, um die Konsistenz der Leistung der Massenproduktion der Mittelschicht zu gewährleisten und die Stabilität der Batterieumwandlungseffizienz zu gewährleisten.
Die Kernlogik der Beschaffung von GleitschienenPECVD von Photovoltaik-Unternehmen ist die Erreichung des dreifachen Ziels "Kapazitätsanpassung, Kostenkontrolle und technologische Zukunftsorientierung". Von der Übereinstimmung der Ablagerungsrate mit dem Produktionsratum über die Kompatibilität der Grundlagengröße bis hin zur präzisen Steuerung des Energieverbrauchs und der Betriebskosten beeinflusst die Steuerung jedes Indikators direkt die Produktionseffizienz. Durch die wissenschaftliche Bewertung der Schlüsselindikatoren und die Auswahl von Ausrüstungen, die den eigenen Bedürfnissen an Produktionskapazität und der technologischen Route entsprechen, können GleitschienenPECVD zu einer starken Unterstützung für die Verbesserung der Kernkompetenz von Photovoltaik-Unternehmen werden.