Arbeitsprinzip
Das hochreine Argon-Analytikspektrometer basiert auf der gaschromatografischen Trennungstechnik und ermöglicht eine quantitative Analyse durch die Erkennung von physikalisch-chemischen Unterschieden in Spurenereinheiten in hochreinem Argon. Die Kernprozesse sind:
Probeinführung: Die hochreine Argonprobe wird durch ein Probeneinsatzsystem (z. B. ein Sechskanalventil) quantitativ in das Chromatometer eingespritzt und in die Chromatografie-Säule eingeführt.
Komponentenenttrennung: Chromatografie-Säulen füllen bestimmte Festphasen (z. B. Molekülsiebe, Aluminiumoxid-Verbundstoffe) mit Siedepunkt-, Polarität- oder Adsorptionsunterschieden von Verunreinigungskomponenten (z. B. H₂, O₂, N₂, CH4, CO, CO2) und trennen sie unter Antrieb von Trägergas (ultrahochreines Argon).
Detektion und Quantifizierung: Die getrennten Komponenten gelangen in den Detektor und werden in elektrische Signale umgewandelt. Ein Argon-Ionisierungsdetektor (AID) erkennt beispielsweise Verunreinigungskonzentrationen durch Veränderungen des Ionisierungsstroms mit einer Empfindlichkeit von bis zu 0,05 ppm (Stickstoffmessung); Der High Frequency Argon Discharge Detector (HFADD) verwendet Verunreinigungsmolekule zur quantitativen Analyse der Absorption oder Verstärkung des Lichtbogens.
Schlüsselkomponentenalyse
Gasversorgungssystem: umfasst hochreine Argonflaschen, Druckdämpfungsventile und Gasdurchflussregler, um die Reinheit (≥99,999%) und die Durchflussstabilität (±0,1%) des Trägergases zu gewährleisten und Hintergrundstörungen zu vermeiden.
Chromatografie-Säulen: Mit hochtemperaturbeständigen, niedrigen Adsorptionsmaterialien (wie Edelstahl oder Quartz) füllen Sie eine hochselektive Fixtphase aus, um eine effiziente Trennung komplexer Verunreinigungsmatrixen zu erreichen.
Detektor:
Argon-Ionisierungsdetektor (AID): Ionisiert Argon durch Hochspannungsfelder, um Verunreinigungs-Ionisierungsstromänderungen zu erkennen, geeignet für Spuranalysen von ppm bis ppb.
Hochfrequenz-Argon-Entladungsdetektor (HFADD): Anregung von Argon-Entladungen durch Hochfrequenz-elektromagnetische Felder und Quantifizierung durch Ausschaltung oder Verstärkung von Verunreinigungsmolekulen auf Lichtbogen mit einer Empfindlichkeit von bis zu 30 ppb (in CH4).
Steuersystem: Integrierte Temperaturregelung (Genauigkeit ± 0,1 ℃), Prozesserwärmung (Geschwindigkeit 0,1-50 ℃ / min) und Multiventil-Schaltfunktion zur Unterstützung komplexer Analyseprozessautomatisierung.
Datenverarbeitungssystem: Erfassung und Verarbeitung von Signalen in Echtzeit über die Chromatografie-Arbeitsstation, Erzeugung von Chromatogrammen und Berechnung der Verunreinigungskonzentration zur Unterstützung der gleichzeitigen Analyse mehrerer Komponenten.